TY - JOUR AU - Nhan Nguyen AU - Hao Xiong AU - John Suehle AU - Oleg Kirillov AU - Eric Vogel AU - Prashant Majhi AU - Huang-Chun Wen C2 - Applied Physics Letters DA - 2008-03-06 LA - en M1 - 92 PB - Applied Physics Letters PY - 2008 TI - Internal Photoemission Spectroscopy of [TaN/TaSiN] and [TaN/TaCN] Metal Stacks On SiO2 and [HfO2 / SiO2] Dielectric Stack. ER -