TY - JOUR AU - Orji, Ndubuisi AU - Itoh, Hiroshi AU - Wang, Chumei AU - Dixson, Ronald G. AU - Schmidt, Sebastian AU - Irmer, Bernd AU - Walecki, Peter C2 - Ultramicroscopy DA - 2015-12-23 00:12:00 DO - https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2015.12.003 LA - en M1 - 162 PB - Ultramicroscopy PY - 2015 TI - Tip characterization method using multi-feature characterizer for CD-AFM ER -