TY  - JOUR
AU  - Mittal, Sarang
AU  - Adachi, Kazemi
AU  - Frattini, Nicholas E.
AU  - Urmey, Maxwell
AU  - Lin, S-X
AU  - Emser, Alec
AU  - Metzberger, C
AU  - Talamo, L
AU  - Dickson, S.
AU  - Carlson, D.
AU  - Papp, Scott
AU  - Regal, Cindy
AU  - Lehnert, Konrad
C2  - Physical Review Applied
DA  - 2024-05-22 04:05:00
LA  - en
M1  - 21
PB  - Physical Review Applied
PY  - 2024
TI  - Annealing reduces SI<sub>3</sub>N<sub>4</sub> microwave-frequency dielectric loss in superconducting resonators
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=957253
ER  -