TY  - JOUR
AU  - John Woodward
AU  - T Fedynyshyn
AU  - D Astolfi
AU  - Susan Cann
AU  - J Roberts
AU  - M Leeson
C2  - Proc SPIE
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 6519
PB  - Proc SPIE
PY  - 2007
TI  - -Component Segregation in Model Chemically Amplified Resists,-
ER  -