TY  - JOUR
AU  - Aaron Katzenmeyer
AU  - Michael Titze
AU  - Sam Frisone
AU  - Tony Ohlhausen
AU  - Anthony Flores
AU  - Deanna Campbell
AU  - Bingjun Li
AU  - Yongqiang Wang
AU  - Jung Han
AU  - Edward Bielejec
AU  - Rachel Goldman
C2  - AIP Advances
DA  - 2024-04-18 04:04:00
DO  - https://doi.org/10.1063/5.0198791 
LA  - en
M1  - 14
PB  - AIP Advances
PY  - 2024
TI  - Comparison of Mg-based liquid metal ion sources for scalable focused-ion-implantation doping of GaN
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=957347
ER  -