TY - JOUR AU - Charles Tarrio AU - Steven Grantham AU - Thomas Germer AU - Jack Rife AU - Thomas Lucatorto AU - Mike Kriese AU - Yuriy Platonov AU - Licai Jiang AU - Jim Rodriguez C2 - SPIE Conference Proceedings DA - 2014-08-01 LA - en M1 - 9048 PB - SPIE Conference Proceedings PY - 2014 TI - Improved measurement capabilities at the NIST EUV Reflectometry Facility ER -