TY - JOUR AU - Steven Grantham AU - Mike Kriese AU - Yuriy Platonov AU - Bodo Ehlers AU - Licai Jiang AU - Jim Rodriguez AU - Mueller Ulrich AU - Shayna khatri AU - Adam Magruder AU - Charles Tarrio C2 - SPIE Conference Proceedings DA - 2014-08-01 LA - en M1 - 9048 PB - SPIE Conference Proceedings PY - 2014 TI - Development of an EUVL collector with infrared radiation suppression ER -