TY  - GEN
AU  - Ilic, Robert R.
AU  - Balram, Krishna Coimbatore
AU  - Westly, Daron A.
AU  - Davanco, Marcelo I.
AU  - Grutter, Karen E.
AU  - Li, Qing
AU  - Michels, Thomas
AU  - Ray, Christopher H.
AU  - Yu, Liya
AU  - Bertrand, Neal A.
AU  - Stavis, Samuel M.
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AU  - Bryce, Brian A.
AU  - Lobontiu, Nicolae
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AU  - Metzler, Meredith
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AU  - Gilbert, Ian J.
AU  - Dill, Kristen A.
AU  - Kasica, Richard J.
AU  - Srinivasan, Kartik A.
AU  - Simelgor, Gregory
AU  - Topolancik, Juraj
C2  - , National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
DA  - 2016-10-01 04:10:00
DO  - https://doi.org/10.6028/NIST.HB.160
LA  - en
PB  - , National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
PY  - 2016
TI  - Nanolithography Toolbox:
ER  -