TY - JOUR AU - Lloyd Whitman AU - S Joyce AU - J Yarmoff AU - F McFeeley AU - L Terminello C2 - Surface Science DA - 1990-01-01 LA - en M1 - 232 PB - Surface Science PY - 1990 TI - The Chemisorption of Chlorosilanes and Chlorine on Si(111)7×7 ER -