TY  - JOUR
AU  - Lloyd Whitman
AU  - S Joyce
AU  - J Yarmoff
AU  - F McFeeley
AU  - L Terminello
C2  - Vacuum
DA  - 1990-01-01
LA  - en
M1  - 41
PB  - Vacuum
PY  - 1990
TI  - The Chemisorption of SiCl<sub>4</sub>, Si<sub>2</sub>Cl<sub>6</sub>, and Chlorine on Si(111) 7&#215;7
ER  -