TY  - JOUR
AU  - Son Bui
AU  - Thomas Renegar
AU  - Theodore Vorburger
AU  - Jayaraman Raja
AU  - Mark Malburg
C2  - Wear
DA  - 2004-12-01
LA  - en
M1  - 257
PB  - Wear
PY  - 2004
TI  - Internet-Based Surface Metrology Algorithm Testing System
ER  -