TY  - CONF
AU  - Richard Silver
AU  - Ravikiran Attota
AU  - Michael Stocker
AU  - M Bishop
AU  - Lowell Howard
AU  - Thomas Germer
AU  - Egon Marx
AU  - M Davidson
AU  - Robert Larrabee
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2005-05-01
LA  - en
M1  - 5752
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2005
TI  - High-resolution Optical Metrology
ER  -