TY  - JOUR
AU  - Grant Myers
AU  - Siddharth Hazra
AU  - Maarten de Boer
AU  - Chris Michaels
AU  - Stephan Stranick
AU  - Ryan Koseski
AU  - Robert Cook
AU  - Frank DelRio
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2014-06-15 00:06:00
DO  - https://doi.org/10.1063/1.4878616
LA  - en
M1  - 104
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2014
TI  - Stress mapping of micromachined polycrystalline silicon devices via confocal Raman microscopy
ER  -