TY - CONF AU - Theodore Vorburger AU - Ronald Dixson AU - Joseph Fu AU - Ndubuisi Orji AU - Shaw Feng AU - Michael Cresswell AU - Richard Allen AU - William Guthrie AU - Wei Chu C2 - Proceedings of International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Harbin, 1, CH DA - 2006-01-01 00:01:00 LA - en PB - Proceedings of International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Harbin, 1, CH PY - 2006 TI - Nano- and Atomic-Scale Length Metrology ER -