TY  - JOUR
AU  - M Sahiner
AU  - Joseph Woicik
AU  - P Gao
AU  - P McKeown
AU  - Mark Croft
AU  - M Gartman
AU  - B Benapfl
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2021-10-12 15:10:19
LA  - en
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2021
TI  - Pulsed Laser Deposition and Characterization of Hf Based High-k Dielectric Thin Films
ER  -