TY  - JOUR
AU  - K Chang
AU  - Martin Green
AU  - John Suehle
AU  - Eckhard Vogel
AU  - Hao Xiong
AU  - Jason Hattrick-Simpers
AU  - Ichiro Takeuchi
AU  - O Famodu
AU  - K Ohmori
AU  - P Ahmet
AU  - T Chikyow
AU  - Prashant Majhi
AU  - B Lee
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2006-10-02 00:10:00
LA  - en
M1  - 89
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2006
TI  - Combinatorial Study of Ni-Ti-Pt Ternary Metal Gate Electrodes on HfO2 for the Advanced Gate Stack
ER  -