TY  - CONF
AU  - J Allgair
AU  - C Archie
AU  - W Banke
AU  - H Bogardus
AU  - J Griffith
AU  - H Marchman
AU  - Michael Postek
AU  - L Saraf
AU  - J Schlesinger
AU  - B Singh
AU  - N. Sullivan
AU  - L Trimble
AU  - Andras Vladar
AU  - A Yanof
C2  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA, USA
DA  - 1998-06-01 00:06:00
LA  - en
M1  - 3332
PB  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA, USA
PY  - 1998
TI  - Toward a Unified Advanced CD-SEM Specification for Sub 0.18 Micrometer Technology
ER  -