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C2  - Science
DA  - 2011-11-18 00:11:00
LA  - en
M1  - 334
PB  - Science
PY  - 2011
TI  - Giant piezoelectricity on Si for hyperactive MEMS
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=907279
ER  -