TY  - SER
AU  - Michael Postek
C2  - Plenum Publ. Corp.,  
DA  - 1987-12-31
LA  - en
PB  - Plenum Publ. Corp.,  
PY  - 1987
TI  - Non-Destructive Submicron Dimensional Metrology Using the Scanning Electron Microscope
ER  -