TY  - JOUR
AU  - Kao-Shuo Chang
AU  - Martin Green
AU  - John Suehle
AU  - Jason Hattrick-Simpers
AU  - Ichiro Takeuchi
AU  - K Ohmori
AU  - T Chikyow
AU  - S De
AU  - Prashant Majhi
C2  - ECS Transactions
DA  - 2008-01-23
LA  - en
M1  - 13
PB  - ECS Transactions
PY  - 2008
TI  - Combinatorial Methodology for the Exploration of Metal Gate Electrodes on HfO<sub>2</sub> for the Advanced Gate Stack
ER  -